氟镧镨掺杂对铈基抛光粉微结构、颗粒特征及抛光性能的影响

中国稀土学报, 2016, 34(5): 606-611. doi: 10.11785/S1000-4343.20160514

氟镧镨掺杂对铈基抛光粉微结构、颗粒特征及抛光性能的影响

伍立军 ^1, , 王筠松 ^2, , 郭耘 ^3, , 卢冠忠 ^4,

1.华东理工大学工业催化研究所,上海,200237

2.华东理工大学工业催化研究所,上海,200237

3.华东理工大学工业催化研究所,上海,200237

4.华东理工大学工业催化研究所,上海,200237

关键词：铈基抛光粉 , 掺杂 , Zeta电位 , 抛蚀量

Effects of Fluorine or Lanthanum or Pr-doping on Micro-Structure, Particle Characterization and Polishing Performance of Ceria-Based Polishing Powders

Keywords： ceria-based polishing powder , doping , zeta potential , MRR

以Ce2(CO3)3为前驱体,La2(CO3)3和Pr2(CO3)3为掺杂试剂,NH4F为氟化剂制备铈基抛光粉,研究了WLa/Pr掺杂对铈基抛光粉的物相结构、表面形貌、表面Zeta电位和抛蚀量的影响.XRD,Raman光谱和Zeta电位分析表明:F的引入可以显著地减小铈基抛光粉的晶粒尺寸、增大其品格缺陷和颗粒表面Zeta电位,且同时掺La-Pr比单独掺La对增大其晶格缺陷和颗粒表面Zeta电位影响更大.SEM分析表明,F的引入有利于颗粒的球形化,掺入La或Pr有利于改善颗粒的聚集状态.抛光测试分析表明:抛蚀量的大小与相应铈基抛光粉的颗粒表面Zeta电位和晶格缺陷成正比.

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氟镧镨掺杂对铈基抛光粉微结构、颗粒特征及抛光性能的影响

Effects of Fluorine or Lanthanum or Pr-doping on Micro-Structure, Particle Characterization and Polishing Performance of Ceria-Based Polishing Powders

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