MOCVD方法在SrFe12O19表面生长Fe薄膜及其吸波性能

金属学报, 2014, 50(9): 1095-1101. doi: 10.11900/0412.1961.2013.00774

MOCVD方法在SrFe12O19表面生长Fe薄膜及其吸波性能

刘渊 ^1, , 刘祥萱 ^2, , 王煊军 ^3, , 陈鑫 ^4,

1.第二炮兵工程大学603教研室,西安710025

2.第二炮兵工程大学603教研室,西安710025

3.第二炮兵工程大学603教研室,西安710025

4.第二炮兵工程大学603教研室,西安710025

基金项目: Supported by Natural Science Foundation of Shaanxi Province (No.2012SXJJ005) 陕西省自然科学基金资助项目2012SXJJ005

关键词：羰基铁 , 金属有机化学气相沉积 , 电磁 , 微波吸收

Fe THIN FILMS GROWN ON SURFACE OF SrFe12O19BY MOCVD METHOD AND ITS ABSORBING PROPERTIES

Keywords： carbonyl iron , MOCVD , electromagnetic , microwave absorption

采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)工艺,以高纯Fe(CO)5和SrFe12O19为原料,高纯N2为载气,在SrFe12O19表面沉积连续Fe膜,从而制得Fe-SrFe12O19复合材料.用XRD,SEM,EDS和矢量网络分析仪对粉末的结构及电磁性能进行表征并对其吸波性能进行研究.结果表明,SrFe12O19表面沉积的膜层为纯α-Fe相,厚度约为0.5 μm,沉积薄膜比较均匀完整地覆盖在SrFe12O19表面.SrFe12O19表面沉积α-Fe膜后,其电磁性能发生明显改变,吸波性能有较好改善.沉积时间30 min时制备的样品有最佳的吸波效果,涂层厚度为1.5～3.0 mm时,最小反射率均低于-19dB,在6.8～18.0 GHz均能实现吸波强度低于-10 dB.随着厚度的增加,反射率峰值先减少后增加,厚度为2.0mm时,达到最小值-21.2 dB.

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