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中国表面工程, 2016, 29(1): 1-6. doi: 10.11933/j.issn.1007-9289.2016.01.001

包含等离子体辅助沉积参数和离子刻蚀作用过程的结构区域相图

André Anders ^1,

基金项目:   美国能源部项目(DE-AC02-05CH11231)  

关键词： 结构区域相图 , 薄膜制备 , 等离子体辅助 , 离子刻蚀 , 应力 , 形貌 , 同系温度 , 位能与动能

A Structure Zone Diagram Including Plasma-based Deposition and Ion Etching

Keywords： structure zone diagram (SZD) , thin film deposition , plasma assistance , ion etching , stress , morphology , homologous temperature , potential and kinetic energy