多晶硅沉积厚度对氧沉淀和洁净区形成的影响

稀有金属, 2016, 40(12): 1256-1259. doi: 10.13373/j.cnki.cjrm.XY15051401

多晶硅沉积厚度对氧沉淀和洁净区形成的影响

黄栋栋 ^1, , 曲翔 ^2, , 刘大力 ^3, , 周旗钢 ^4, , 刘斌 ^5, , 刘红艳 ^6,

1.北京有色金属研究总院有研半导体材料有限公司,北京,100088

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基金项目: 国家重大科技专项项目(2010ZX02302-001)资助

关键词：重掺硅片 , 多晶硅吸杂 , 择优腐蚀 , 氧沉淀

Formation of Oxygen Precipitation and Denuded Zone Influenced by Polysilicon Deposition Thickness

Keywords： heavily doped wafer , polysilicon gettering , preferential etching , oxygen precipitation

硅片背面沉积多晶硅是半导体生产中常用的吸杂手段,多晶硅中存在着大量的晶界,可以吸除金属杂质,它还可以影响硅片内氧沉淀的分布,增强内吸杂的作用.通过控制低压化学气相沉积(LPCVD)系统的沉积时间,在硅片背面沉积不同厚度的多晶硅薄膜,借助择优腐蚀和金相显微(OM)观察等手段研究了沉积厚度对重掺硼硅片内氧沉淀形成与分布的影响.结果表明:沉积的多晶硅薄膜越厚,硅片的形变量越大,小尺寸的氧沉淀数量增多并在表面附近聚集,大尺寸的氧沉淀则倾向于在体内和背面形成,洁净区的厚度则减小直至无洁净区建立.多晶硅薄膜通过对硅片施加应力引起硅片形变,从而影响氧沉淀硅片体内形成的位置,起到促进内吸杂的作用.最佳多晶硅沉积厚度为800 nm.

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