目的 研究Mo含量对CrN薄膜硬度、结合力和耐腐蚀性能的影响.方法 用多弧离子镀技术,在4Cr13钢表面沉积CrN,并掺杂不同量的Mo原子.通过显微硬度计、附着力划痕仪、电化学测量仪和能谱仪分别检测薄膜的硬度、结合力、电化学腐蚀性能和薄膜的元素含量.结果 当Mo的原子数分数为0.15％、4.23％、5.15％、7.09％、14.26％、21.12％、31.08％时,硬度值分别为2141.1HV、2416.0HV、2416.0HV、2962.3HV、2580.4HV、2710.5HV、2441.8HV,结合力分别为45、47、52、57、38、37、34N;在3.5％ NaC1溶液中,它们的相对腐蚀速率分别是Mo(5.15％)的6.53、4.12、1、2.22、8.72、.2.42、2.44倍;在1 mol/L NaOH溶液中,它们的相对腐蚀速率分别是Mo(14.26％)的6.74、5.29、1.49、2.82、2.57、1、7.25倍;在1 mol/L H2SO4溶液中,它们的相对腐蚀速率分别是Mo(14.26％)的9.20、4.10、10.31、9.25、1、3.29、7.46倍.结论 当Mo的原子数分数为7.09％时,结合力最大为57N,显微硬度达到最大值,为2962.3HV;当Mo的原子数分数为14.26％时,在H2SO4溶液和NaOH溶液中的耐蚀性能最好;当Mo的原子数分数为5.15％时,在NaC1溶液中的耐蚀性能最好.复合薄膜腐蚀机理主要是局部腐蚀中的小孔腐蚀,另外也会发生缝隙腐蚀和电偶腐蚀.
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