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针对以碳酸镧铈为原料制备稀土抛光粉工艺对F所起的作用进行了研究,采用XRD、扫描电子显微镜和透射电子显微镜等分析手段对含F与不含F抛光粉进行对比分析.结果表明,F的加入使抛光粉的物相组成发生了变化,生成了新的物相CeLa2O3F3;另外,通过对两种稀土抛光粉进行SEM分析得出,F的加入促进了抛光粉晶体的团聚,使其团聚颗粒尺寸增大,但从XRD的数据分析看,F对CeO2的晶粒尺寸和晶粒形貌的改变基本没有影响.从抛光粉的研抛性能来看,F的加入促进了抛光粉研削力的增加.

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