概要介绍了用粉末冶金工艺制备磁控溅射沉积TiN膜用钛靶的方法,探讨了其技术、经济可行性.结果表明,该方法制备钛靶是可行的,并可推广应用于其它钛复合靶、钛合金、钛化合物靶制备.
参考文献
| [1] | JP01-139706 |
| [2] | 莫畏.钛冶金学.北京:冶金工业出版社,1998:86 |
| [3] | Froes F H. Rev Part Mater, 1997; 223 |
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