CoSi2薄膜二维X射线衍射线形分析与表征

1.上海交通大学材料科学与工程学院高温材料及高温测试教育部重点实验室,上海,200030

2.上海交通大学材料科学与工程学院高温材料及高温测试教育部重点实验室,上海,200030

3.上海交通大学材料科学与工程学院高温材料及高温测试教育部重点实验室,上海,200030

基金项目: 国家自然科学基金(50131030) 上海市AM基金(0211)

ANALYSIS AND CHARACTERIZATION OF 2-D X-RAY DIFFRACTION PROFILE FOR CoSi2 FILM

利用二维X射线衍射线形分析方法,分析了CoSi2薄膜材料的二维衍射线形.结果表明,薄膜中不同方位的衍射线形存在明显差异,主要与材料中晶粒尺寸及显微畸变的空间分布有关,其中沿薄膜法线方向上的晶粒尺寸最大,同时该方向的显微畸变最小.

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