用原位XRD技术分析了连续加热过程中电沉积Ni-P薄膜晶化与相变行为.通过定量分析,确定出不同温度下各相的析出量,由此计算出各相的晶化与相变激活能以及晶化结晶度.结果表明,Ni-P非晶薄膜的晶化与相变行为与薄膜中P的含量有关.在晶化过程中出现了四种亚稳相即NiP,Ni2P,Ni12P5及Ni5P2.计算得到:亚稳相NiP,Ni2P及稳定相Ni3P的相变激活能分别为133±15,172±1g及190±20 kJ/mol;单个析出相的相变激活能低于Ni-P合金晶化激活能和Ni原子的自扩散激活能.
参考文献
| [1] | Shacham-Diamand Y,Sverdlov Y.Microelect Eng,2000;50:525 |
| [2] | Keong K G,Sha W,Malinov S.Acta Metall Sin (Engl Lett),2001; 14:419 |
| [3] | Keong KG.,Sha W,Malinov S.J Alloys Gompd,2002;334:192 |
| [4] | Cziraki A,Fogarassy B,Bokonyi I,Tompa K,Bagi T,Hegedus Z.Investigation of Chemically Deposited and Electroplated Amorphous Ni-P Alloys.Budapest:Central Research Institute for Physics,1980 |
| [5] | Ma E M,Luo S F,Li P X.Thin Solid Films,1988; 166:273 |
| [6] | Martyak N M.Chem Mater,1994; 6:1667 |
| [7] | Lu K,Wang J T.Sci Chin,1992; (4)A:414(卢柯,王景唐.中国科学,1992;(4)A:414) |
| [8] | Avrami M J.Chem Phys,1941; 9:177 |
| [9] | Wilkinson D S.Mass Transport in Solids and Fluids.Cambridge:Cambridge University Press,2000:242 |
| [10] | Lu K,Wang J T.Acta Metall Sin,1991; 27:B38(卢柯,王景唐.金属学报,1991;27:B38) |
上一张
下一张
上一张
下一张
计量
- 下载量()
- 访问量()
文章评分
- 您的评分：
-
10%
-
20%
-
30%
-
40%
-
50%