纳米Pt膜的晶粒尺寸及其对热导率的影响

金属学报, 2006, 42(11): 1207-1211. doi: 10.3321/j.issn:0412-1961.2006.11.017

纳米Pt膜的晶粒尺寸及其对热导率的影响

曹炳阳 ^1, , 张清光 ^2, , 张兴 ^3, , 高桥厚史 ^4, , 声田龙也 ^5, , 乔文明 ^6, , 滕井丕夫 ^7,

1.清华大学工程力学系热科学与动力工程教育部重点实验室,北京,100084

2.清华大学工程力学系热科学与动力工程教育部重点实验室,北京,100084

3.清华大学工程力学系热科学与动力工程教育部重点实验室,北京,100084

4.Graduate School of Engineering, Kyushu University, Fukuoka 812-8581, Japan

5.Graduate School of Engineering, Kyushu University, Fukuoka 812-8581, Japan

6.华东理工大学化学工程联合国家重点实验室,上海 200237

7.Institute for Materials Chemistry and Engineering, Kyushu University, Kasuga 816-8580, Japan

基金项目: 国家自然科学基金(50606018)

关键词： Pt纳米薄膜 , 热导率 , 晶粒尺寸 , 晶界效应 , 尺寸效应

GRAIN SIZE AND ITS EFFECT ON THERMAL CONDUCTIVITY OF Pt NANOFILMS

采用电子束-物理气相沉积法(EB-PVD)制备了6个厚度为15--62 nm的铂薄膜,研究了纳米薄膜的晶粒尺寸及其对热导率的影响规律.当薄膜厚度小于30 nm时,晶粒平均尺寸接近于薄膜的厚度;晶粒尺寸随着薄膜厚度的增加而增大并趋于定值;当薄膜厚度大于30 nm时,晶粒尺寸约为20 nm.受薄膜的表面和内部晶界的综合影响,铂纳米薄膜的热导率大大低于体材料的值,并且纳米薄膜的热导率随着薄膜厚度的增加而增大并趋于一个低于体材料热导率的值.

参考文献

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