含氮体系CVD低压金刚石薄膜淀积条件

1.复旦大学电子工程系CVD研究室,上海,200433

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Deposition Conditions for CVD Diamond Films under Low Pressure with Nitrogen Addition

根据非平衡热力学耦合模型理论首次计算得到了碳氢氮体系的金刚石生长的非平衡定态相图与近几年在国际上发表的该体系实验结果相符合,可以为今后的实验研究提供定量化的理论依据.根据理论相图讨论了系统压力和体系中氮的添加对金刚石薄膜淀积条件的影响.

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