本文采用热压工艺研究了三种AlN-多型体: 15R, 12H 和21R的致密化行为及形成过程. 结果表明,AlN-多型体必须在存有少量烧结添加剂的条件下才能烧结致密,在所使用的添加剂中,Sm2O3·Al2O3为最有效,在加入2.5wt%时能使这三种多型体的密度在1600℃就接近完全致密. 15R和12H 的形成过程较为相似,分别在1550℃和1600℃之前,15R和12H随温度升高而增加,最高达95wt%以上,但过后随温度增加其量逐渐下降,同时12H和21R分别出现在15R和12H的组份中. 21R的形成过程与它们相异甚大,在低温时先形成12H,随温度的增高,12H含量逐渐下降, 而21R不断增加,在1750℃以上达100wt%. 本文还对AlN-多型体的形成过程进行了讨论.
参考文献
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