本文通过制备不同膜厚的纳米SnO2厚膜型气敏器件试样,测量试样对乙醇气体的灵敏度和试样的阻温曲线并进行复阻抗分析, 研究了试样的膜厚对灵敏度的影响.SnO2纳米材料由化学沉淀法制备,采用平面丝网印刷技术制作不同膜厚的气敏试样.结果表明,试样膜厚在65μm 左右对乙醇气体具有最大灵敏度.膜厚对灵敏度的影响可能与膜层的晶粒接触状态如接触面积、气孔率、气孔宽度和深度等发生变化有关.
参考文献
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