LiCl/SiO2-Al2O3薄膜的纳米结构和湿敏特性

1.西安交通大学电子材料研究所,西安,710049

2.同济大学功能材料研究所,上海,200092

3.西安交通大学电子材料研究所,西安,710049;同济大学功能材料研究所,上海,200092

4.西安交通大学电子材料研究所,西安,710049;同济大学功能材料研究所,上海,200092

Humidity Sensing Property of LiCl/SiO2-Al2O3 Nano-Composite Film

通过溶胶-凝胶工艺制得具有良好湿敏特性的LiCl/SiO2-Al2O3薄膜材料,利用XRD和AFM对这类薄膜进行了结构表征. 结果表明,具有纳米分相结构的薄膜在全湿范围内阻抗值的变化>3个数量级,阻抗的对数值与相对湿度的关系具有较好的线性度,吸湿响应<30s,脱湿响应<60s.

[1]	康昌鹤,唐省吾等. 气、湿敏传感器件及其应用. 北京: 科学出版社, 1988.
[2]	孔令兵, 张良莹, 姚熹. 硅酸盐学报, 1998,26 (4): 483-487.
[3]	福格尔著, 谢于深译. 玻璃化学. 北京:轻工业出版社,1988.

上一张下一张

计量

作者相关

文章评分