Sol-Gel法制备B2O3-P2O5-SiO2系低介玻璃陶瓷

无机材料学报, 2000, 15(6): 977-981. doi: 10.3321/j.issn:1000-324X.2000.06.003

Sol-Gel法制备B2O3-P2O5-SiO2系低介玻璃陶瓷

李勃 ^1, , 周济 ^2, , 岳振星 ^3, , 马振伟 ^4, , 桂治轮 ^5, , 李龙土 ^6,

1.清华大学材料系新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室，北京 100084

2.清华大学材料系新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室，北京 100084

3.清华大学材料系新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室，北京 100084

4.清华大学材料系新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室，北京 100084

5.清华大学材料系新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室，北京 100084

6.清华大学材料系新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室，北京 100084

基金项目: 国家高技术研究发展计划(863计划)(715-Z33-006-0050)

关键词：溶胶-凝胶法 , 玻璃陶瓷 , 低介电常数 , 片式电感

Preparation of B2O3-P2O5-SiO2 Glass-Ceramics by the Sol-Gel Method

Keywords： sol-gel method , ultrafine powder , glass-ceramics , low dielectric

采用溶胶-凝胶法，以正硅酸乙酯和硼酸、磷酸为原料，制备出一种BPS超细粉．使用这种超细粉，可在低于950℃空气气氛中烧结，获得性能优良的低介电常数、低损耗玻璃陶瓷．该种材料的介电常数ε≤5、介电损耗tanδ<3×10-3(1MHz)，有望用于超高频叠层片式电感领域．

A sol-gel process was used to synthesize borophosphosilicate ultrafine powders by using boric acid, phosphoric acid and TEOS as starting precursors. The powder can be sintered at 900℃ in air. The dielectric properties of the sintered glass-ceramics were measured. The results show that the sintered glass-ceramics possess dielectric constants less than 5 and dielectric loss less than 3× 10-3 at the frequency of 1MHz. The glass-ceramics are potential for using as dielectric materials in a super high frequency multi-layer chip inductor field.

参考文献

[1]	岳振星,周济(YUE Zhen-Xing,et al).无机材料学报(Journal of Inorganic Materials),1999,14(3)：375-379.
[2]	Jean Jau-Ho, Gupta Tapan K. IEEE Trans. compon. packing. manuf. technol., 1994, 17 (2):228-233.
[3]	Tean Jau-Ho, Shen J I. Jpn. J. App. Phys., 1996, 35 part1, (7): 3942-3945.
[4]	Kumta P N, Sriram M A. Journal of Materials Science, 1993, 28 (4): 1097-1106.

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