AlN薄膜取向程度与实验参数间的函数关系

无机材料学报, 2001, 16(6): 1161-1168. doi: 10.3321/j.issn:1000-324X.2001.06.021

AlN薄膜取向程度与实验参数间的函数关系

许小红 ^1, , 张富强 ^2, , 武海顺 ^3, , 张聪杰 ^4, , 李佐宜 ^5,

1.山西师范大学化学系,

2.山西师范大学化学系,

3.山西师范大学化学系,

4.山西师范大学化学系,

5.华中科技大学电子科学与技术系,

关键词：氮化铝薄膜 , 实验参数 , 择优取向 , 函数关系

Function Relation Formulae Between Experimental Parameters and Preferential Orientation Intensity of AlN Films

反应溅射制备AlN薄膜时,薄膜的择优取向与众多的实验参数有关.建立晶面择优取向程度与溅射气压、靶基距、靶功率等重要实验参数之间的函数关系,避免了研究每一项参数对薄膜择优取向影响所需的实验次数的繁多,得到制备择优取向程度最佳薄膜的实验参数.同时,通过用该函数关系式计算得到结果与实验结果比较,发现两者具有很好的一致性.这一系列函数关系式的建立,对进一步设计新的实验方案、验证已有的实验结果以及制备良好择优取向薄膜都有着重要意义.

参考文献

[1]	Liufu D, Kao K C. J. Vac. Sci. Technol. A, 1998, 16 (4): 2360-2366.
[2]	Marc-Alexandre Dubois, Paul Muralt. Appl. Phys. Lett. 1999, 74 (20): 3032-3034.
[3]	Wauk M T, Winslow D K. Appl. Phys. Lett. 1968, 13: 286-288.
[4]	Davis R F. Proc IEEE, 1991, 79 (5): 702-712.
[5]	Rodriguez-Clemente R, Aspar B, Azema N, et al. J Cryst. Growth, 1993, 133: 59-70.
[6]	Yang D, Jonnalagadda R, Rogers B R. Thin Solid Films, 1998, 332: 312-318.
[7]	Xu Xiao-Hong, Wu Hai-Shun, Jin Zhi-Hao. Thin Solid Films, 2001, 388: 62-67.
[8]	许小红,武海顺,张富强,等.稀有材料与工程,2000,29(6):394-397.
[9]	许小红,武海顺,张聪杰,等.压电与声光,2000,22(4):256-258.
[10]	Ishihara M, Li S J, Yumoto H, et al. Thin Solid Films, 1998, 316: 152-157.
[11]	Hickernell F J, Yue R X, Hickernell F S. IEEE Trans. Ultrason. Ferroelect. Freq. Contr. 1997, 44(3): 615-623.
[12]	Akiyama M, Xu C N, Nonaka K, et al. Thin Solid Films, 1998, 315: 62-65.
[13]	沈恒范.概率论与数理统计.北京:高等教育出版社,1995.113-121.

上一张下一张

计量

下载量()
访问量()

作者相关

文章评分

您的评分：
1

0%
2

0%
3

0%
4

0%
5

0%

材料期刊网

AlN薄膜取向程度与实验参数间的函数关系

Function Relation Formulae Between Experimental Parameters and Preferential Orientation Intensity of AlN Films

参考文献