提出了沉积纳米陶瓷薄膜的一种新方法-燃烧化学沉积法.该方法省去了真空条件,直接在空气中沉积纳米陶瓷薄膜.其主要特点是将配制好的初始液体雾化,让该液雾穿过高温火焰流体.初始液体在火焰流中发生化学反应,并形成反应火焰流,该反应火焰流体系在火焰流的前方基底上沉积出纳米陶瓷薄膜,然后再通过热处理进行晶化处理,使形成晶态相.本文以制备α-Al2O3纳米薄膜为例,介绍用该方法的制备过程,并用SEM和TEM分析了α-Al2O3纳米薄膜的显微形貌和结构.
参考文献
| [1] | 张增志.博士学位论文.纳米陶瓷的燃烧化学沉积技术与机理研究.北京:中国矿业大学,1996.n. |
| [2] | 刘宇,邓永茜.新型纳米晶材料.硅酸盐通报,1993,12(4):47-52. |
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