溶胶-凝胶法中热处理对PMNT薄膜结构的影响

1.中国科学院上海硅酸盐研究所无机功能材料开放实验室,上海,200050

2.中国科学院上海硅酸盐研究所无机功能材料开放实验室,上海,200050

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Influences of Heat Treatment on the Structure of PMNT Thin Films Derived by Sol-Gel Process

研究用溶胶-凝胶方法制备PMNT(铌镁酸铅)薄膜的工艺过程.通过XRD和SPM系统地分析了热处理条件(热解温度和退火条件)与PMNT薄膜的形态.结晶和取向的对应关系,已建立起制备高度取向PMNT薄膜的工艺.并成功地在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备成(111)取向的PMNT薄膜.

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