液相电沉积类金刚石薄膜的相关物理化学问题

无机材料学报, 2002, 17(3): 571-578. doi: 10.3321/j.issn:1000-324X.2002.03.030

液相电沉积类金刚石薄膜的相关物理化学问题

酒金婷 ^1, , 付强 ^2, , 汪浩 ^3, , 朱鹤孙 ^4,

1.北京服装学院材料工程系,北京,100029;北京理工大学材料中心,北京,100081

2.北京理工大学材料中心,北京,100081

3.北京理工大学材料中心,北京,100081

4.北京理工大学材料中心,北京,100081

基金项目: 国家自然科学基金(59882001)

关键词： DLC薄膜 , 液相电沉积 , 碳源 , 反应机理

Aroused Problems in the Deposition of Diamond-like Carbon Films by Using the Liquid Phase Electrodeposition Technique

利用液相电沉积技术制备了含氢类金刚石薄膜(DLC),讨论了应用电位和沉积碳源对沉积过程和薄膜结构的影响;结果表明有高介电常数、低粘度、分子中甲基基团直接与极性基团键合的有机液体是合适的沉积碳源;通过增加沉积电位将有利于薄膜中sp3碳的生长;最后,作者提出了液相沉积类金刚石薄膜的反应机理-极化-反应机制,在电场的作用下,有机分子被极化并在电极表面反应生成DLC薄膜和其他产物.

参考文献

[1]	Namba.J.Vac.Sci.Technol.,1992,A10:3368-3370.
[2]	Suzuki T,Manita Y,Yamazaki T,et al.J.Mater.Sci.,1995,:30:2067-2069.
[3]	Suzuki T,Noma T,Wada S,et al.J.Mater.Sci.,1996,31:3743-3746.
[4]	Kwiatek S E,Desai V,Moran P J,et al.J.Mater.Sci.,1997,32:3123-3128.
[5]	Wang H,Shen M R,Ning Z Y,et al.Thin Solid Films,1997,293:87-90.
[6]	Wang H,Shen M R,Ning Z Y,et al.Appl.Phys.Lett.,1996,69:1074-1076.
[7]	Novikov V P,Dymont V P.Appl.Phys.Lett.,1997,70:200-202.
[8]	迪安J A著.尚方久,操时杰等译.兰氏化学手册.科学出版社,1991
[9]	Tsud M A,Nakajima M,Oikawa S.J.Am.Chem.Soc.,1986,108:5780-5783.
[10]	Hirose Y,Terasawa Y.Jpn.J.Appl.Phys.,1986,25:L519-521.
[11]	Chakrabarti K,Chakrabarti R,Chattopadhyay K K,et al.Diamond Relat.Mater.,1998,7:845-852.
[12]	Lin S,Feldman B J.Phys.Rev.Lett.,1982,48:829-832.
[13]	Nemanich R J,Glass T,Lucovsky G,et al.J.Vac.Sci.Technol.A,1986,6:1783-1787.
[14]	Knight D S,White W B.J.Mater.Res.,1989,4:385-393.
[15]	Wang Y,Alsmeyer D C,McCreery R L.Chem.Mater.,1990,2:5567-5572.
[16]	Beeman D,Sliverman J,Lynds R,et al.Phys.Rev.B,1984,30:870-875.
[17]	Richter A,Scheibe H J.Non-Crystal.J.Solid,1986,88:131-144.
[18]	Kitabatake M,Wasa K.Appl.Phys.Lett.,1985,58:1693-1695.
[19]	Yoon S F,Yang H,Rusli A,et al.Diamond Relat.Mater.,1998,7:70-76.
[20]	Tuinstra F,Koening J L.J.Chem.Phys.,1970,53:1126-1130.
[21]	McCulloch D G,Prawer S.J.Appl.Phys.,1995,78:3040-3047.
[22]	Fu Q,Jiu J T,Wang H,et al.Chemical Physical Letter,1999,301:87-90.
[23]	Dekempeneer E H A,Jacobs R,Smeets J,et al.Thin Solid Films,1992,217:56-61.
[24]	Jiang X,Zou J W,Reichelt K,et al.J.Appl.Phys.,1989,66:4729-4735.
[25]	Robertsin J.Phys.Rev.Lett.,1992,68:220-223.
[26]	Fujinori S,Kasai T,Namura T.Thin Solid Films,1982,92:71-80.
[27]	Angus J C.Thin Solid Films,1992,216:126-133.

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