Ti合金化DLC膜的结构和力学性能

无机材料学报, 2002, 17(4): 771-776. doi: 10.3321/j.issn:1000-324X.2002.04.021

Ti合金化DLC膜的结构和力学性能

江晓红 ^1, , Rogachev A.V ^2, , 陆小华 ^3, , 金元生 ^4,

1.南京工业大学化工学院,南京,210009

2.白俄罗斯国立交通大学材料系,戈梅利,246653

3.南京工业大学化工学院,南京,210009

4.清华大学摩擦学国家重点实验室,北京,100084

基金项目: 国家重点实验室基金江苏省博士后科学基金国家自然科学基金(29925616)

关键词： DLC膜 , 薄膜沉积 , 性能分析

Structure and Mechanical Properties of Ti Alloyed DLC Films

在一台y B H ИП A-1型双激发源等离子弧薄膜沉积装置上制取Ti合金化DLC膜,用纳米硬度计、显微硬度计、原子力显微镜以及X射线衍射仪和光电子能谱仪等手段对薄膜的力学性能和结构进行了分析和测定.摩擦磨损试验在一台球-盘滑动磨损试验机上进行.比较了不同钛合金化程度的DLC膜及热处理前后的性能变化.结果表明,薄膜的力学性能与Ti含量有非单值关系,但摩擦系数随Ti含量增加而升高;热处理后薄膜显微硬度显著升高的原因是生成了碳化钛硬化相.

参考文献

[1]	Grill A. Surface and Coatings Technology, 1997, 94-95: 507-513.
[2]	Бa к aк o в A. B., Koншинa EA. Oпrикo -мexaничecкaяпpo мыmл e нность , 1982, 9: 52--59.
[3]	匡同春,刘正义,代明江.(KUANG Tong-Chun,et al).无机材料学报(Journal ofInorganic Materials),1998,13(5):703-709.
[4]	居建华,吴汶海,许俊芬,等.功能材料与器件学报,1998,4(3):213-216.
[5]	左敦稳,朱纪军,王珉.航空学报,1999,20(2):144-147.
[6]	Voevodin A A, Schneider J M, Rebhol C, et al. Tribology international, 1996, 29 (7): 559-570.
[7]	LIU Zhi Hui, ZHAO Jun Fu, Mclaughlin Jim. Diamond Relat. Mater, 1999, 8: 56-63.
[8]	Cт a нишe в c кий A. B. Cт p y кту p a пл e н o кг r л e p o д a , o c a Ж e нныx изпл a змыимп y льсно r o к a т o дн o -д y r o в o r o p a з p яд a вв a куумe . Aвт o p e фe p a тк a нд . Ди c . M.н . иФTTП HAHБ, 1996. 17.

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