氮化铝薄膜织构的极图法研究

1.华中科技大学电子科学与技术系,武汉,430074;山西师范大学化学与材料科学学院,临汾,041004

2.山西师范大学化学与材料科学学院,临汾,041004

3.山西师范大学化学与材料科学学院,临汾,041004

4.山西师范大学化学与材料科学学院,临汾,041004

5.华中科技大学电子科学与技术系,武汉,430074

基金项目: 教育部高校骨干教师资助计划山西省青年科研项目(20011011) 湖北省科技攻关项目

Study on the Texture of AlN Thin Films by Using the Pole-figure Method

在X射线衍射结果的基础上,采用极图法研究了AlN薄膜以(002)和(100)面的取向分布,发现在一定条件下制备的AlN(002)有很强的织构,并通过极图法来确定X射线衍射所无法确定的AlN(100)面择优取向薄膜中各晶粒c轴间的关系.

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