Lanxide技术合成含烧结助剂的复合AlN粉体

无机材料学报, 2003, 18(6): 1351-1356. doi: 10.3321/j.issn:1000-324X.2003.06.034

Lanxide技术合成含烧结助剂的复合AlN粉体

林志浪 ^1, , 郑新和 ^2, , 王群 ^3, , 周美玲 ^4,

1.中国科学院上海微系统与信息技术研究所离子束重点实验室,上海,200050;北京工业大学材料科学与工程学院,北京,100022

2.中国科学院半导体研究所,北京,100083

3.北京工业大学材料科学与工程学院,北京,100022

4.北京工业大学材料科学与工程学院,北京,100022

基金项目: 国家自然科学基金(59802001)

关键词： AlN粉体 , Lanxide技术 , 铝合金 , 烧结助剂

Synthesis of Composite AlN Powder Mixed with Sintering Additives by the Lanxide Method

高纯度的氮气中,以Al-Mg-Y合金为母合金,利用Lanxide技术合成了含烧结助剂Y2O3的复合AlN粉体.通过扫描电镜、X射线衍射、粒径分析及化学成分分析等检测手段对氮化产物进行表征.实验结果表明,合金氮化反应完全,氮化产物疏松易于粉化.粉化后获得的复合AlN粉体具有纯度高,氧杂质含量低,粒度细小等优点.

参考文献

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Synthesis of Composite AlN Powder Mixed with Sintering Additives by the Lanxide Method

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