采用大气等离子喷涂系统,制备了常规和超细Al2O3-3wt%TiO2涂层.利用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)对涂层相组成和显微结构进行了表征.测量了涂层直流电阻,介电常数和介电损耗.在等离子喷涂过程中,α-Al2O3氧化铝大部分转变为γ-Al2O3.氧化钛在常规涂层中主要以非计量的Ti2O3形式存在;对于超细涂层,氧化钛与氧化铝反应形成固溶体.常规Al2O3-3wt%TiO2涂层呈现典型的板条层结构,而超细Al2O3-3wt%TiO2涂层除了具有板条层外,还含有大量的等轴α-Al2O3晶粒,其尺寸在150～800nm之间.在常规涂层中,组成板条层的柱状γ-Al2Oa晶粒直径约为700nm;而对于超细涂层,其绝大部分<200nm.与常规Al2O3-3wt%TiO2涂层相比,超细Al2O3-3wt%TiO2涂层具有较高的直流电阻;但在相同频率下,超细涂层介电常数和介电损耗都较常规涂层小.
参考文献
| [1] | Lau M L, Jiang H G, Lavernia E J. J. Therm. Spray Technol., 1998, 7: 436. |
| [2] | Tellkamp V, Lau M L, Fabel A, Lavernia E J. Nanostruct. Mater., 1997, 9: 489-492. |
| [3] | Zhu Y, Yukimura K, Ding C, Zhang P. Thin Solid Films, 2001, 388: 277-282. |
| [4] | He J, Schoenung J M. Surf. Coat. Technol., 2002, 157: 72-79. |
| [5] | 陈煌,丁传贤(CHENG Huang,et al).无机材料学报(Journal of Inorganic Materials),2002,17(4):882-886. |
| [6] | 祝迎春.中国科学院上海硅酸盐研究所博士学位论文,1999. |
| [7] | 程旭东,邓世均,李志宏.材料保护,1999,32(4):31-34. |
| [8] | Niemi K, Vuoristo P, Mantyla T. J. Therm. Spray. Technol., 1994, 3: 199-203. |
| [9] | Kim H-J, Lee C-H, Kweon Y-G. Surf. Coat. Technol., 2001, 139: 75-80. |
| [10] | Ramachandran K, Selvarajan V, Ananthapadmanabhan P V, et al. Thin Solid Films, 1998, 315: 144-152. |
| [11] | Lin X, Zeng Y, et al. J. Eur. Ceram. Soc., 2003, 24 (4): 627-634. |
| [12] | Chráska P, Dubsky J, et al. J. Therm. Spray. Technol., 1992, 1: 301-306. |
| [13] | McPherson, R. J. Mater. Sci., 1980, 15: 3141-3149. |
| [14] | Kear, B H, Kalman, Z, et al. J. Therm. Spray Technol., 2000, 9: 483-487. |
| [15] | Goberman, D, Sohn, et al. Acta. Mater., 2002, 50: 1141-1152. |
| [16] | W.D.金格瑞,等著,清华无机金属材料教研组译.陶瓷导论,1982.911. |
| [17] | 赵登涛,狄国庆,朱炎.材料科学与工程,2000,18(3):80-83. |
| [18] | 恽正中,等.半导体及薄膜物理.北京:国防工业出版社,1981.253. |
上一张
下一张
上一张
下一张
计量
- 下载量()
- 访问量()
文章评分
- 您的评分：
-
10%
-
20%
-
30%
-
40%
-
50%