流态床CVD法纳米氮化硅粉体的制备

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基金项目: 中国科学院资助项目(50442025) 淅江省高等学校青年教师资助计划

CVD Synthesis of Silicon Nitride (SiN) Nanopowders in a Novel Two-stage Fluidized Bed Reactor

采用硅烷和氨气在立式双温区流态床中化学气相沉积,制备了形状规则的球状无定形氮化硅纳米粉体,并利用X射线衍射(XRD)、透射电镜(TEM)和傅立叶红外(FTIR)研究了该纳米粉体的形貌、成分和物相.讨论了该流态床法制备纳米氮化硅的关键因素,并得到流态床中制备氮化硅纳米粉体的优化工艺参数.

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