本文综述了近年来纳米多层膜界面微结构及超硬效应的研究进展,表明纳米多层膜硬化的主要机制和位错的运动相关,晶格错配引起的交变应变场对硬化起次要作用,模量差异致硬起主要作用.指出了超硬纳米多层膜研究所存在的问题以及未来的发展方向.
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