Li-N-H共掺法制备p型ZnO薄膜

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基金项目: 国家自然科学基金(50532060) 浙江省自然科学基金(Y405126) 国家自然科学基金(50572095)

Preparation of Li-N-H Codoped p-type ZnO Films

采用Li-N-H共掺技术在玻璃衬底上生长p型ZnO薄膜.XRD结果表明共掺ZnO薄膜具有高度c轴取向,Hall测试表明薄膜的电阻率为25.2Ω·cm,Hall迁移率为0.5cm2/(V·s),空穴浓度为4.92×1017/cm3.此外,p-ZnO薄膜在可见光区域具有90%的高透射率.

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