超声喷雾热解法生长氧化锌同质p-n结及其电致发光性能研究

无机材料学报, 2007, 22(1): 173-175. doi: 10.3321/j.issn:1000-324X.2007.01.036

超声喷雾热解法生长氧化锌同质p-n结及其电致发光性能研究

边继明 ^1, , 刘维峰 ^2, , 胡礼中 ^3, , 梁红伟 ^4,

1.大连理工大学三束材料改性国家重点实验室及物理与光电工程学院,大连,116024

2.大连理工大学三束材料改性国家重点实验室及物理与光电工程学院,大连,116024

3.大连理工大学三束材料改性国家重点实验室及物理与光电工程学院,大连,116024

4.大连理工大学三束材料改性国家重点实验室及物理与光电工程学院,大连,116024

基金项目: 国家自然科学基金(50532080;60576054) 大连理工大学校科研和教改项目

关键词： ZnO薄膜 , 同质p-n结 , 电致发光 , 超声喷雾热分解

Fabrication of ZnO p-n Homojunction by Ultrasonic Spray Pyrolysis and Its Electroluminescence Properties

采用超声喷雾热解法在单晶GaAs(100)衬底上生长ZnO同质p-n结.以醋酸锌水溶液为前驱体,分别以醋酸铵和硝酸铟为氮(N)源和铟(In)源,通过氮-铟(N-In)共掺杂沉积p型ZnO薄膜,以未故意掺杂的ZnO薄膜做为n型层获得ZnO基同质p-n结.采用热蒸发工艺在ZnO层和GaAs衬底上分别蒸镀Zn/Au和Au/Ge/Ni电极而获得发光二极管原型器件,在室温下发现了该器件正向电流注入下的连续发光现象.

参考文献

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Fabrication of ZnO p-n Homojunction by Ultrasonic Spray Pyrolysis and Its Electroluminescence Properties

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