以甲基氢二氯硅烷,三氯化硼、六甲基二硅氮烷为起始原料,采用共缩合原理合成了聚硼硅氮烷(PBSZ)先驱体,将PBSZ分别在N2和NH3/N2气氛中高温热解得到SiBNC陶瓷.利用元素分析、XPS、NMR,FT-IR、XRD等分析手段对PBSZ及其陶瓷产物的组成,结构和热稳定性进行了表征.结果表明,先驱体的结构骨架为-Si-N-B-,其中B、N以硼氮六环的形式存在, C以Si-CH3形式存在. 1000℃时两种气氛中陶瓷产率分别为63wt%和61wt%,1500~1850℃之间失重分别为3.8wt%和10.0wt%.所得陶瓷的主要相组成均为si3N4、BN和SiC,并且均能在1700℃以上保持非晶,在1850℃时部分结晶.N2中热解产物比NH3/N2中热解产物有更好的稳定性,更不易结晶.
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