直接感光法制备钛酸锶钡图形化薄膜及其性能研究

无机材料学报, 2008, 23(5): 886-890. doi: 10.3321/j.issn:1000-324X.2008.05.005

直接感光法制备钛酸锶钡图形化薄膜及其性能研究

张卫华 ^1, , 袁媛 ^2, , 石春梅 ^3, , 赵高扬 ^4,

1.西安理工大学,材料科学与工程学院,西安,710048

2.西安理工大学,材料科学与工程学院,西安,710048

3.西安理工大学,材料科学与工程学院,西安,710048

4.西安理工大学,材料科学与工程学院,西安,710048

基金项目: 陕西省西安市科技计划(XA-AM-200611) 陕西省自然科学基金(2004E102) 陕西省电工材料与溶(浸)渗技术重点实验室基金

关键词： BST薄膜 , 感光性 , 微细图形 , 溶胶.凝胶工艺

BST Patterned Films Prepared by Direct Patterning Process and Their Properties

采用改进的化学修饰的溶胶-凝胶工艺,以聚乙烯吡咯烷酮(PVP)为薄膜开裂抑制剂,以乙酰丙酮为化学修饰剂,利用乙酰丙酮可以与金属盐形成的配位螯合物的特性,制备了具有紫外光感光特性的钛酸锶钡(Bao.8Sr0.2TiO3)前驱溶胶及其凝胶薄膜;结合直接感光法,首先制备图形化凝胶薄膜,再通过后续热处理,在Pt/TiO2/SiO2/Si衬底上最终得到了具有钙钛矿结构的钛酸锶钡图形化薄膜,其图形厚度约为793nm,相对介电常数约为600,介电损耗约为0.03.

参考文献

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