研究了不同热硫化条件下用纯Fe膜反应形成的FeS2多晶薄膜成分、结晶形态和电阻率的变化规律结果表明,在400℃等温20～30h时,生成的FeS2比较充分,薄膜中的Fe、S含量接近FeS2计量成分随硫化温度升高,FeS2晶粒明显增大,电阻率显著上升,当在400 ℃硫化充分形成FeS2晶粒后,继续延长等温时间对组织形态无明显影响.
参考文献
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