溅射功率对Ge2Sb2Te5薄膜光学常数的影响

材料研究学报, 2000, 14(5): 501-504. doi: 10.3321/j.issn:1005-3093.2000.05.011

溅射功率对Ge2Sb2Te5薄膜光学常数的影响

谢泉 ^1, , 侯立松 ^2, , 干福熹 ^3, , 阮昊 ^4, , 李晶 ^5, , 李进延 ^6,

1.中国科学院上海光学精密机械研究所;长沙交通学院

2.中国科学院上海光学精密机械研究所

3.中国科学院上海光学精密机械研究所

4.中国科学院上海光学精密机械研究所

5.中国科学院上海光学精密机械研究所

6.中国科学院上海光学精密机械研究所

基金项目: 国家自然科学基金(59832060)

关键词：溅射功率 , Ge2Sb2Te5薄膜 , 光学常数

EFFECTS OF SPUTTERING POWER ON THE OPTICAL CONSTANTS OF Ge2Sb2Te5 THIN FILMS

研究了溅射功率对Ge2Sb2Te5薄膜的光学常数与波长关系的影响,结果表明,在波长小于500nm的情况下,随溅射功率的增加非晶态薄膜的折射率n先增加然后减小,消光系数k则逐渐减小;在波长大于500nm的情况下,随溅射功率的增加折射率n逐渐减少,消光系数k先减小后增加.对于晶态薄膜样品,在整个波长范围折射率n随溅射功率的增加先减小后增加,消光系数k则逐渐减少.薄膜样品的光学常数,在长波长范围随波长变化较大,在短波长范围变化较小.讨论了溅射功率对Ge2Sb2Te5薄膜的光学常数影响的机理.

参考文献

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溅射功率对Ge2Sb2Te5薄膜光学常数的影响

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