用直流磁控溅射法在玻璃衬底上成功制备出了铝钛共掺杂氧化锌(TAZO)透明导电薄膜,研究了溅射压强对TAZO薄膜的微观结构和光电特性的影响.研究结果表明,所制备的TAZO薄膜为六角纤锌矿结构的多晶薄膜,且具有c轴择优取向.当溅射压强为7.5 Pa时,薄膜的最小电阻率为3.34×10-4Ω·cm.薄膜的可见光区平均透过率大于89%.溅射压强对薄膜的电阻率和微观结构有显著影响.
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