为了满足光刻机工件台超精密运动控制系统对位移测量的需求,本文提出了基于FPGA的BiSS-C协议解码方法,并针对该方法进行了电路设计以及实验验证.首先,研究了BiSS-C协议内容,就其组网方式和帧格式做了详细的介绍.然后,针对绝对式编码器解码要求,利用FPGA拓展性好、灵活性高等特点,通过状态机,设计了绝对式编码器的数据传输电路,实现了BiSS-C协议的译码功能,并采用CLE-AA容栅尺进行了应用验证.最后,进行了与增量式光栅尺的对比校准实验.实验表明,容栅尺绝对式编码器可实现10 kHz的传输速率,运动误差在±5 μm之内,其可靠性与准确性满足超精密运动控制系统的粗定位要求.
参考文献
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