磁控溅射制备择优取向氮化铝薄膜

1.山西师范大学化学系,临汾,041004;西安交通大学材料学院,西安

2.山西师范大学化学系,临汾,041004

3.山西师范大学化学系,临汾,041004

4.西安交通大学材料学院,西安

基金项目: 山西省留学回国人员科研项目山西省自然科学基金中国科学院资助项目(29741004)

Preparation of Preferentially Orientated AlN Thin Films by DC Magnetron Sputtering

[1]	Liufu D,Kao K C. J Vac Sci Technol A,1998,16 (4):2360
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