金属铜表面的三维齿状图形的化学微加工

应用化学, 2004, 21(3): 227-230. doi: 10.3969/j.issn.1000-0518.2004.03.003

金属铜表面的三维齿状图形的化学微加工

刘柱方 ^1, , 蒋利民 ^2, , 汤儆 ^3, , 刘品宽 ^4, , 孙立宁 ^5, , 田中群 ^6, , 田昭武 ^7,

1.厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室,化学系,厦门,361005

2.厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室,化学系,厦门,361005

3.厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室,化学系,厦门,361005

4.哈尔滨工业大学机器人研究所,哈尔滨

5.哈尔滨工业大学机器人研究所,哈尔滨

6.厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室,化学系,厦门,361005

7.厦门大学固体表面物理化学国家重点实验室,化学系,厦门,361005

基金项目: 国家高技术研究发展计划(863计划)(2002AA404170)

关键词：约束刻蚀剂层技术(CELT) , 金属铜 , 三维微加工 , 化学刻蚀

Chemical Microetching of Three-dimensional Gear-like Patterns on Copper Surface

运用约束刻蚀剂层技术(CELT)在金属铜(Cu)表面实现了三维微图形加工，取得成功的关键因素在于寻找到能对Cu进行有效CELT加工的化学刻蚀和捕捉体系。采用规整的三维齿状结构为模板,在Cu表面得到了与齿状结构模板互补的三维微结构。采用扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)对所刻蚀图案进行表征，证实CELT可用于金属表面三维微图形的刻蚀加工。

参考文献

[1]	TIAN Zhong-Qun(田中群),SUN Jian-Jun(孙建军). Electrochemistry(电化学)[J],2000,6(1):1
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[3]	Schuster R,Kirchner V,Allongue P, et al. Science[J],2000,289:98
[4]	JIANG Li-Min(蒋利民),TIAN Zhong-Qun(田中群),LIU Zhu-Fang(刘柱方), et al. Electrochemistry(电化学)[J],2002,8:139
[5]	Tian Z W,Fen Z D,Tian Z Q, et al. Faraday Discuss[C],1992,94:37
[6]	TIAN Zhao-Wu(田昭武),TIAN Zhong-Qun(田中群),LIN Zhong-Hua(林仲华), et al. Chin J Sci Insturment(仪器仪表学报)[J],1996,17:14
[7]	Zu Y B,Xie L,Mao B W, et al. Electrochim Acta[J],1998,43:1 683
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[10]	XIE Lei(谢雷). Doctoral Dissertation([博士学位论文]). Xiamen(厦门):Xiamen University(厦门大学),1996

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