化学气相沉积-后退火法制备MgB2超导薄膜

1.贵州大学通信工程系,贵阳,550025

2.贵州大学通信工程系,贵阳,550025

3.贵州大学通信工程系,贵阳,550025

4.贵州大学,光电子技术及应用省级重点实验室,贵阳,550025

基金项目: 国家自然科学基金(60666001;60471050) 贵州省高层次人才基金贵州省优秀青年科技人才培养计划(黔科合人字(2002)2013) 贵州省省长基金(黔科教办200304) 教育部科学技术基金

FABRICATION OF MgB2 SUPERCONDUCTING FIMS BY THE CHEMICAL VAPOR DEPOSTION AND THE POST ANNEALING

本文提出在高真空镀膜系统中通过化学气相沉积(CVD)的方法沉积高纯度的先驱B膜,再经过后退火工艺,Mg扩散进入先驱膜而反应生成了MgB2超导薄膜.经过多种实验方法检测,这种薄膜具有较为优异的超导性能,是一种和传统微电子工艺兼容、适宜于工业化大规模生产MgB2超导薄膜的方法.

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