真空阴极电弧沉积(Ti,Al)N薄膜的应用研究

机械工程材料, 2001, 25(8): 25-42. doi: 10.3969/j.issn.1000-3738.2001.08.008

真空阴极电弧沉积(Ti,Al)N薄膜的应用研究

付志强 ^1, , 蔡育平 ^2, , 袁镇海 ^3, , 林松盛 ^4,

1.广州有色金属研究院,

2.广州有色金属研究院,

3.广州有色金属研究院,

4.广州有色金属研究院,

关键词：真空阴极电弧沉积 , (Ti,Al)N涂层 , 涂层刀具

Research on (Ti,Al)N coatings Deposited by Vacuum Cathodic Arc Deposition

为了提高TiN涂层刀具的耐磨性,采用钛铝合金靶,以真空阴极电弧沉积法制备了(Ti,Al)N涂层.对膜层形貌成分、组织结构及硬度进行了测试及研究,并试验了(Ti,Al)N涂层高速钢钻头及YG6硬质合金刀具的使用寿命.结果表明:(Ti,Al)N涂层硬度高达HV0.1,153700,(Ti,Al)N涂层使高速钢钻头及YG6硬质合金刀具的使用寿命显著提高.

参考文献

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