用Ti/Mo、Ti/W、Ti/FM复合靶和真空电弧沉积技术制备了三种多元多层膜,并对其组织结构与性能进行了研究.结果表明,多元复合靶与多元膜层之间存在着成分离析效应,组元Mo、W和Fe具有负的成分离析,而组元Cr和A1与靶材的成分相当.多元膜层致密,其结构形式为(Ti,Me)2N和(Ti,Me)N.测试表明按多元多层膜设计的膜层Ti/TixN/(TiyMe1-y)N/(Ti,Me)xN具有较高硬度和耐磨性能,经600℃×100h的氧化,多元多层膜有良好的抗氧化性能,其中以含W的膜层的抗氧化性能最佳.
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