ICP-AES法测定工业硅中10种杂质元素

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Determination of 10 impurity elements in industrial silicon by ICP-AES

研究了利用ICP发射光谱仪测定工业硅中Fe,Al,Ca,P,Ti,Cu,Zn,Mg,Mn,Ni等10种元素的方法,确定了各元素的检出限,回收率在94%～105%之间,RSD小于3.5%,该方法用于样品测定,结果满意.

[1]	GB 2881-1991.GB2881-1991.工业硅技术条件[S].,1992-06-01.
[2]	GB/T 14849-1993.工业硅化学分析方法铁、铝、钙含量的测定[S].

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