燃焰法沉积高品质透明金刚石薄膜的研究

1.沈阳工业学院机械工程系,沈阳,110015

2.沈阳工业学院机械工程系,沈阳,110015

3.哈尔滨工业大学机械工程系,哈尔滨,150001

4.哈尔滨工业大学机械工程系,哈尔滨,150001

基金项目: 辽宁省自然科学基金中国科学院资助项目

Study on the Depositing High Quality Transparent Diamond Films by Combustion Flame Method

采用燃焰法在大气环境下以30μm/h的较高速率沉积出了均匀、优质、透明的金刚石薄膜.实验结果表明,较高的V(O2)/V(C2H2)和适中的基体温度是获得高品质金刚石薄膜的基本条件;提高反应气体中氧气浓度,可使沉积高品质透明金刚石薄膜的基体温度范围变宽.

[1]	黄树涛等.[J].材料科学与工艺,1996,4:89.
[2]	竹内贞雄ほか .[J].表面技术,1996,5:402.

上一张下一张

计量

作者相关

文章评分