CVD方法生长平面和曲面块状多晶硫化锌

人工晶体学报, 2000, 29(1): 30-33. doi: 10.3969/j.issn.1000-985X.2000.01.006

CVD方法生长平面和曲面块状多晶硫化锌

王和明 ^1, , 蔡以超 ^2, , 杨曜源 ^3, , 东燕萍 ^4, , 王永杰 ^5, , 闫泽武 ^6,

1.人工晶体研究所,北京,100018

2.人工晶体研究所,北京,100018

3.人工晶体研究所,北京,100018

4.人工晶体研究所,北京,100018

5.人工晶体研究所,北京,100018

6.人工晶体研究所,北京,100018

基金项目: 军品配套项目

关键词： CVD , 硫化锌 , 红外材料 , 块状多晶 , 红外光谱

Plane and Curve Surface Bulk Polycrystal ZnS Growth Using CVD

采用化学气相沉积方法成功地生长出硫化锌多晶红外光学材料.加工后的成品多晶硫化锌尺寸为直径150mm,厚度为6mm;既有曲面的整流罩,又有平面窗口,蒸镀多层防反膜.由于采用了自制的活性硫化氢为原料,以及较好的工艺生长条件,生长的硫化锌红外光学材料长波透射比达到理论值75%.镀多层防反膜以后,中、长红外波段透过率均有所提高,但镀膜技术还有待改进.文中对硫化锌的透过曲线进行了分析与比较,结果表明我们生长的硫化锌杂质较少,是红外透过率高的原因.文中还测试了硫化锌的其它主要性能.

参考文献

[1]	Savage J A.Infrared Optical Materials and Their Antireflection Coating[M].Adam Hilger Ltd,1985:104.

上一张下一张

计量

下载量()
访问量()

作者相关

文章评分

您的评分：
1

0%
2

0%
3

0%
4

0%
5

0%

材料期刊网

CVD方法生长平面和曲面块状多晶硫化锌

Plane and Curve Surface Bulk Polycrystal ZnS Growth Using CVD

参考文献