切削过程中金刚石薄膜从基体表面的破损剥落是金刚石薄膜涂层刀具的一种主要损坏形式.本文通过实验研究了金刚石薄膜涂层刀具的破损机理及刀具表面状态、切削用量对其损坏形式的影响.研究结果表明,较大的切削用量、机械冲击、交变切削载荷及积屑瘤频繁脱落等是导致金刚石薄膜涂层刀具破损剥落的主要原因.金刚石薄膜的破损剥落起始于薄膜与基体之间及薄膜底面金刚石晶粒之间的原始微小间隙缺陷,这些原始微小间隙缺陷是在沉积金刚石薄膜时,由于成核密度较低等原因而形成的.金刚石薄膜剥落时薄膜的断裂主要沿晶界发生.
参考文献
| [1] | 吕反修 .CVD金刚石膜的产业化应用与目前存在的问题[J].新材料产业,2003,7:63-67. |
| [2] | 黄树涛,张志军,姚英学,袁哲俊.燃焰法沉积高品质透明金刚石薄膜的研究[J].人工晶体学报,1999(01):74-78. |
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