同步辐射单色光形貌术观察6H-SiC单晶中的微管缺陷

1.山东大学晶体材料国家重点实验室,济南,250100

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8.山东大学晶体材料国家重点实验室,济南,250100

9.北京高能物理研究所同步辐射实验室,北京,100039

10.北京高能物理研究所同步辐射实验室,北京,100039

11.北京高能物理研究所同步辐射实验室,北京,100039

基金项目: 国家自然科学基金(60025049) 国家高技术研究发展计划(863计划)

Observation of Micropipes in 6H-SiC Monocrystalline by Synchrotron Radiation Monochromatic X-ray Topography

采用同步辐射单色光形貌术观察了6H-SiC单晶中的微管缺陷,发现晶片中Burgers矢量为1c的螺位错具有较高的密度.此外,还观察到对应较大Burgers矢量的微管.基于微管附近的应变场,并根据衍射几何,模拟计算了一系列具有不同Burgers矢量的微管在形貌像中的直径,计算结果与实验观察符合较好.

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