显微激光拉曼光谱法鉴别SiC晶体的多型体结构

人工晶体学报, 2004, 33(6): 877-881. doi: 10.3969/j.issn.1000-985X.2004.06.001

显微激光拉曼光谱法鉴别SiC晶体的多型体结构

韩荣江 ^1, , 王继扬 ^2, , 徐现刚 ^3, , 胡小波 ^4, , 董捷 ^5, , 李现祥 ^6, , 李娟 ^7, , 姜守振 ^8, , 王丽 ^9, , 蒋民华 ^10,

1.山东大学晶体材料国家重点实验室,济南,250100;青岛科技大学材料与环境科学学院,青岛,266042

2.山东大学晶体材料国家重点实验室,济南,250100

3.山东大学晶体材料国家重点实验室,济南,250100

4.山东大学晶体材料国家重点实验室,济南,250100

5.山东大学晶体材料国家重点实验室,济南,250100

6.山东大学晶体材料国家重点实验室,济南,250100

7.山东大学晶体材料国家重点实验室,济南,250100

8.山东大学晶体材料国家重点实验室,济南,250100

9.山东大学晶体材料国家重点实验室,济南,250100

10.山东大学晶体材料国家重点实验室,济南,250100

基金项目: 国家高技术研究发展计划(863计划)(2001AA311080) 国家自然科学基金(60025409)

关键词：显微激光拉曼光谱法 , 碳化硅单晶 , 多型体鉴别 , 掺氮效应

Polytype Identification of SiC Crystals by Micro-Raman Spectroscopy

利用显微激光拉曼光谱法对掺氮6H-SiC单晶中的寄生多型体进行了鉴别,结果表明其中有4H-SiC和15R-SiC两种寄生多型体.不同SiC多型体的纵光学声子与等离子体激元的耦合模(LOPC模)表明:在掺氮6H-SiC单晶的生长条件下,6H-SiC的掺氮效应与4H-SiC存在明显差别,而与15R-SiC的掺氮效应相似.

参考文献

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