φ200mm蓝宝石晶体生长工艺研究

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基金项目: 科技部专项基金(浙江省科技厅2001BA321C)

Study on Crystal Growth Parameters for φ200mm Sapphire Single Crystal

采用单晶提拉炉成功生长出φ200mm ×180mm大尺寸Al2O3晶体.探讨了晶体生长工艺参数和晶体开裂之间的关系,并讨论了晶体中的热应力、热应变、温度梯度、提拉速度之间的关系,分析了影响晶体质量主要是晶体开裂的原因,设计出生长大尺寸Al2O3晶体的最佳工艺条件.

[1]	张克从.晶体生长科学与技术[M].北京:科学出版社,1997:436-438.
[2]	张克从.晶体生长科学与技术[M].北京:科学出版社,1997:386,445-448.
[3]	Brice J C .Study on Crystal Cracking[J].Journal of Crystal Growth,1997,42:427-430.
[4]	Brice J C .[J].Reports on Progress in Physics,1977,40:567.
[5]	Brice J C .[J].Acta Electronics,1973,16:291.

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