Ti基IrO2+Ta2O5涂层中氧化物附着量的XRF分析

材料保护, 2000, 33(4): 43-44. doi: 10.3969/j.issn.1001-1560.2000.04.022

Ti基IrO2+Ta2O5涂层中氧化物附着量的XRF分析

胡吉明 ^1, , 吴继勋 ^2, , 孟惠民 ^3, , 张抒洁 ^4, , 杨德钧 ^5,

1.北京科技大学北京腐蚀与防护中心,100083

2.北京科技大学北京腐蚀与防护中心,100083

3.北京科技大学北京腐蚀与防护中心,100083

4.北京科技大学北京腐蚀与防护中心,100083

5.北京科技大学北京腐蚀与防护中心,100083

关键词： Ti阳极涂层 , IrO2 , Ta2O5 , X射线荧光分析

X-Ray Analysis of IrO2 and Ta2O5 Llading in Titanium Based Ir/Ta Mixed Oxides Coatings

对传统热解法制得的Ti基IrO2+Ta2O5涂层进行了X射线能谱(EDX)及X射线衍射(XRD)测试分析.结果表明,涂层中Cl元素的含量随温度上升而降低,至500 ℃后已降为较低数值(2%),此温度下Ir组元几乎以IrO2晶体相存在.Ti基金属的热重分析(TGA)表明,500 ℃下经4 h预氧化后,该基体金属已不再氧化增重.结合涂层EDX、XRD及Ti基TGA测试结果,确定了X射线荧光分析(XRF)用标准试样的制备条件,并同时测定了不同成分及温度所得IrO2+Ta2O5涂层中两种氧化物的附着量,其成分比例与名义值较为吻合.

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X-Ray Analysis of IrO2 and Ta2O5 Llading in Titanium Based Ir/Ta Mixed Oxides Coatings

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