类金刚石薄膜硬度的研究

1.西安交通大学电气工程学院,陕西,西安,710049

2.西安交通大学电气工程学院,陕西,西安,710049

3.西安工业学院光电科学与工程系,陕西,西安,710032

4.西安工业学院光电科学与工程系,陕西,西安,710032

5.西安工业学院光电科学与工程系,陕西,西安,710032

基金项目: 陕西省自然科学基金(2000C25)

Study on Hardness of Diamond-like Carbon Film

采用脉冲真空电弧离子源镀制了类金刚石薄膜,研究了影响类金刚石薄膜硬度的各种因素,包括:基片温度、主回路电压、清洗时间、膜层厚度和脉冲频率等,分析了各种镀制参数对薄膜硬度的影响机理,找出了最佳镀制工艺参数.

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