氮化硅(Si3N4)因其优异的性能可能在钢铁表面的改性技术中获得重要应用,钢铁表面复合氮化硅层的生成和应用已成为当今材料科学研究开发的热点之一.综述了钢铁表面形成氮化硅薄膜的基本过程,各种制备方法、特点及影响因素.
参考文献
| [1] | 林文松.功能梯度材料涂层制备技术的研究进展[J].表面技术,2004(04):7-9. |
| [2] | 李卫东,周晓荣,左正忠,周运鸿.电沉积复合镀层的研究现状[J].电镀与涂饰,2000(05):44-49. |
| [3] | 阎洪.金属表面处理新技术[M].北京:冶金工业出版社,1996:160-200. |
| [4] | 宋涛;顾军.热处理技术[M].北京:化学工业出版社,2002:78-138. |
| [5] | 胡传;朱幼慧.涂层技术原理及应用[M].北京:化学工业出版社,2000:163-181. |
| [6] | 董文麟.氮化硅陶瓷[M].北京:中国建筑工业出版社,1987:12-29. |
| [7] | 杨辉;马青松;葛曼珍.CVD法氮化硅薄膜制备及性能[J].陶瓷学报,1998(02):91-96. |
| [8] | 杨烈宁;关文铎;顾卓明.材料表面薄膜技术[M].北京:人民交通出版社,1991:34-40. |
| [9] | Cabrera A L .Si diffusion coating on steels by SiH4/H2 treatment for high temperature oxidation protection[J].Journal of Materials Research,1990,5(01):74-82. |
| [10] | 熊国刚,肖李鹏.一种高效沉积反应室的设计[J].材料保护,2002(10):36-37. |
| [11] | 彭英才.光化学气相沉积薄膜的生长机理及其研究进展[J].真空科学与技术,1994(04):294-298. |
| [12] | Shigeichi Yamamoto;Masatoshi Migitaka .Total Pressure Effects on the Properties of Silicon Nitride Films Fabricated by Photoenhanced Chemical Vapor Deposition[J].Japanese Journal of Applied Physics,1994,33(9A):5005-5011. |
| [13] | Rathi VK .Photo-processing of silicon nitride[J].Thin Solid Films,1995,266:219-223. |
| [14] | 余京松,马青松,葛曼珍,杨辉,江仲华.氮化硅薄膜的制备技术[J].中国陶瓷工业,1999(01):20-22. |
| [15] | 郭良.金属基高功率CO2激光沉积超硬Si3N4膜层性能研究[J].中国民航学院学报,1995(04):79-84. |
| [16] | 陈俊芳,吴先球,王德秋,丁振峰,任兆杏.ECR-PECVD制备Si3N4薄膜沉积工艺的研究[J].物理学报,1999(07):1309-1314. |
| [17] | 于映;陈抗生.氮化硅薄膜的PECVD生长及其性能研究[J].真空电子技术,1996(02):16-18. |
| [18] | Lu ZY;An SM;Cuo BH et al.Laser-plasma-assisted chemical vapor deposition of silicon nitride of stainless steel[J].Acta Metallurgica Sinica,1999,12(05):816-820. |
| [19] | 吴大兴;杨川;高国庆 .用DC-PCVD装置对钢沉积Si3N4薄膜[J].金属学报,1997,33(03):320-324. |
| [20] | 刘立,沈复初,袁骏,叶必光,田丽,郦剑.CVD技术在制备含硅化合物膜层中的应用[J].材料科学与工程,2001(02):128-131. |
| [21] | 薛增泉;吴全德;李浩.薄膜物理[M].北京:电子工业出版社,1990:20-28. |
| [22] | 陈俊芳,吴先球,王德秋,丁振峰,任兆杏.Si3N4薄膜的表面微观特性[J].功能材料,2001(03):298-300. |
| [23] | 于映,陈跃.氮化硅介质薄膜内应力的实验研究[J].真空科学与技术学报,2001(01):51-54. |
| [24] | 赵永军,王民娟,杨拥军,梁春广.PECVD SiNx薄膜应力的研究[J].半导体学报,1999(03):183. |
| [25] | 赵慧,徐征,励旭东,李海玲,许颖,王文静.氮化硅薄膜的性能研究以及在多晶硅太阳电池上的应用[J].太阳能学报,2004(02):142-147. |
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