微等离子体增强电化学过程可以产生多种物理化学效应,利用其效应发展了各种新兴的现代表面技术.论述了微等离子体增强电化学的产生途径及其过程的物理化学效应、以及在表面技术方面的应用和研究现状;并展望了它在表面技术方面的应用前景.
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