对2种磁控溅射膜层的耐酸碱腐蚀性、耐盐雾腐蚀性进行了实验研究.结果表明,磁控溅射铝镀层不耐酸碱腐蚀,不耐盐雾腐蚀,磁控溅射锆镀层具有优异的耐酸碱腐蚀性能,耐盐雾性能良好.盐雾腐蚀实验后,锆镀层表面仅出现了轻微的发花现象,但镀层没有失效.
参考文献
| [1] | 黄代会.不同镀层结构的金属外壳盐雾试验分析[J].微电子学,2007(05):685-688. |
| [2] | 吕学超,鲜晓斌,汪小琳,郎定木,刘清和.离子轰击镀对铀上铝镀层组织及防腐蚀性能的影响[J].中国腐蚀与防护学报,2003(05):299-303. |
| [3] | 刘际伟,胡贵生,姚伟.硬质聚氨酯泡沫塑料表面等离子体改性研究[J].表面技术,2001(03):52-54. |
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